필옵틱스, 미국 법인 설립…3D 검사 기술 개발

[아시아경제 임혜선 기자] 필옵틱스 가 미국 법인을 설립한다.

이차전지 및 OLED 레이저 공정 장비기업 필옵틱스는 20일 이사회 결의를 통해 미국 법인 설립을 승인했다고 밝혔다.

필옵틱스는 3차원 측정 기술과 인공지능 기반의 검사 기술 개발 프로젝트를 통해 주요사업인 디스플레이, 이차전지 분야의 결함 검사에 적용 가능한 측정 시스템을 최근 개발해 고객사와 평가를 진행했다.

개발된 측정 시스템이 수백 나노(nm) 깊이의 결함 검출에 성공하고 병렬처리 기술을 통한 빠른 검사가 가능하게 돼 이를 상업화하고 현재의 기술을 더욱 발전시키기 위해 100% 지분 출자하는 종속회사로 미국 내에 법인을 설립할 예정이다.

필옵틱스 관계자는 “신개념 3D 검사 기술은 주요사업인 디스플레이, 이차전지 분야에서 활용할 뿐만 아니라 장기적으로는 반도체와 어드밴스드 패키지 분야의 나노급 결함 검사 등에 적용할 수 있도록 개발할 예정”이라며 “이미 여러 데모 및 기술 평가에서 좋은 평가를 받았으며 다양한 분야에 적용 가능하기 때문에 조속한 기술 개발 완료와 상업화를 동시에 추진하고 연구 분야에 필요한 핵심 인력의 원활한 수급을 위해 미국 내 법인을 설립하기로 했다”고 말했다.

필옵틱스가 현재 개발 중인 3차원 검사 기술은 3차원 형상 측정 기술을 기반으로 하며, 반도체 웨이퍼, 디스플레이, 자동차, 배터리, 금형의 표면 결함을 검사하는 장비 등에 적용될 수 있다. 기존 검사기에서는 검출이 어려운 나노급 높이의 결함을 빠른 속도로 검출할 수 있는 강점이 있다.

임혜선 기자 lhsro@asiae.co.kr