회사는 "반도체, 엘씨디(LCD), 오엘이디(OLED), 엘이디(LED), 포토마스크 등의 제조를 위한 사진공정에서 이용된 감광성 수지막과 잔존하는 잔사를 제거토록 다종의 약액을 챔버공급부에서 순서에 따라 공급하여 제거하는 매엽식 감광성 수지막 제거장치에 관한 것"이라고 설명했다.
손선희 기자 sheeson@asiae.co.kr
<ⓒ투자가를 위한 경제콘텐츠 플랫폼, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
<ⓒ투자가를 위한 경제콘텐츠 플랫폼, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>