인베니아, 플라즈마 처리장치 관련 특허권 취득

[아시아경제 금보령 기자] 인베니아 는 '유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치' 관련 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.

인베니아 측은 "현재 대면적 건식식각장비에 우선 적용 예정"이라며 "이를 통해 차세대 유도결합형 플라즈마 방식 건식식각장비의 기술수준이 향상될 것"이라고 설명했다.

금보령 기자 gold@asiae.co.kr