노현준 서울대 연구원…미국진공학회 학생논문상

반도체·디스플레이 제조 공정 무인·자동화에 필요한 요소 기술 개발

[아시아경제 정종오 기자] 노현준 서울대 연구원이 우리나라에서는 처음으로 미국진공학회 학생 논문상을 수상했다. 반도체와 디스플레이 제조 공정에서 무인·자동화에 필요한 요소 기술을 개발한 성과를 인정받았다.

▲노현준 연구원

서울대 공대(학장 차국헌)는 23일 에너지시스템공학부 노현준 연구원(지도교수 김곤호)이 제64회 미국진공학회 국제 심포지엄과 전시회 2017(AVS 64th International Symposium & Exhibition 2017)에서 'J.Coburn & H.Winters' 학생논문상 수상했다고 발표했다.

노 연구원의 수상 논문은 '플라즈마 정보를 통한 다층 박막 증착 공정의 질화막 두께에 대한 가상계측기술'이다. 반도체와 디스플레이 소자 제조 공정 환경의 변화를 실시간으로 진단하기 위한 플라즈마 정보 인자를 개발했다. 이를 가상 계측 모델의 핵심 인자로 활용하는 새로운 공정진단 방법을 제안해 눈길을 끌었다.

이번 논문을 통해 노 연구원은 3D-VNAND를 제조하기 위한 실리콘 다층 박막 증착 공정에서 기존 가상계측기술에 비해 계측 정확도를 2배 이상 향상시킬 수 있음을 입증했다. 또 플라즈마를 이용한 공정을 진행할 때 장비 벽면의 오염 상태를 실시간으로 모니터링하는 방법을 제시해 플라즈마 공정진단이라는 새로운 연구 분야를 개척했다.

한편 미국진공학회 국제 심포지엄과 전시회는 저온 플라즈마의 산업적 응용 분야에서 세계 최고 수준의 학회로 인정받고 있다.

정종오 기자 ikokid@asiae.co.kr