[아시아경제 안하늘 기자] 반도체 및 디스플레이 제조 장비업체인 세메스(대표 김용식)가 21일 국내 최고의 산업기술상인 IR52 장영실상을 수상했다.
세계 최초로 19㎚ 미세공정용 설비로 개발됐으며 기존 대비 파티클 제거능력 향상과 함께 챔버수를 8개에서 12개로 늘려 시간당 웨이퍼 처리속도 및 용량을 500장 이상으로 대폭 늘렸다.
김용식 대표는 “세계시장 점유율 1위를 목표로 개발된 로터스 설비가 이 상을 받게 돼 매우 뜻깊게 생각한다”며 “향후 반도체 장비 시장에서 설비 성능향상 뿐만 아니라 디자인 측면에서도 우수한 신개념의 설비를 계속 선보일 예정”이라고 밝혔다.
안하늘 기자 ahn708@asiae.co.kr
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