[아시아경제 박미주 기자]
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가 'EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비' 국내 특허를 취득했다고 4일 공시했다.
회사는 특허기술을 적용해 EFEM 제조공정의 효율성을 증대할 계획이라고 전했다.
박미주 기자 beyond@asiae.co.kr
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