21일 니혼게이자이신문에 따르면 올들어 인텔과 삼성전자, 대만반도체(TSM) 등 주요 반도체 제조업체들의 자본 투자가 재개된 것으로 나타났다. 일본 업체들 가운데서는 도시바와 엘피다 메모리가 투자 확대 및 생산설비 업그레이드에 나섰다고 신문은 전했다.
또 니콘은 지난주부터 사이타마현에 위치한 신규 공장에서 최첨단 광식각공정(photolithography)을 통한 생산을 본격적으로 시작했다. 디스코는 11월 말부터 신규 웨이퍼 절삭(wafer cutter) 공장 건설을 시작할 예정이다.
반도체 관련 물질 제조업체들도 적극적으로 움직이고 있다. 산업용 가스 전문업체 타이요 니폰 산소의 경우 반도체 생산에 쓰이는 초고순도 가스 생산을 확대하기 위해 약 2억엔의 투자금을 들여 필리핀 생산 시설을 보강한다는 계획이다.
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강미현 기자 grobe@
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