에스엔텍 ‘반도체 공정진단 시스템’ 사업 본궤도 올라

최근 시화공단 입주계약 체결…3분기 양산 목표
“글로벌 독점 해소 통해 반도체 진단?제어 시스템 국산화 기여”

[아시아경제 박형수 기자] 이 새롭게 추진 중인 ‘반도체 공정진단 시스템(Sensor on Wafer·SoW) 사업이 본궤도에 올랐다.

은 SoW 양산을 위해 최근 시화공단 입주계약을 체결했다고 17일 밝혔다. 은 공장에 대한 환경 인허가 승인을 받아 양산 준비 공사와 국내외 주요 고객사 테스트를 거쳐 3분기부터 양산할 계획이다.

SoW는 웨이퍼 형태로 챔버 내 온도와 플라즈마 상태를 실시간으로 측정하는 센서다. 반도체 미세공정화로 제조공정상 정밀 진단?제어 시스템 수요가 늘어나면서 빠르게 성장하는 부품 가운데 하나다.

관계자는 “SoW는 기존 장비사업 위주의 사업구조를 보완하기 위한 부품?소재사업을 육성하려고 오랜 기간 준비한 아이템 가운데 하나”라고 말했다. 이어 “전 세계 독점 구도를 해소함으로써 반도체 전공정 진단?제어 시스템의 국산화에 기여하고자 한다”고 덧붙였다.

은 SoW 사업을 발판으로 시장 확대 가능성이 큰 정밀공정 진단?제어 시스템의 다양한 응용 분야를 장기적으로 개척한다는 계획이다.

은 최근 ‘플라즈마 측정용 웨이퍼’ 4건에 대한 특허협력조약(PCT) 국제출원을 마쳤다. PCT 국제출원은 다수의 PCT 가입국을 상대로 국제 출원일을 인정받음으로써 선(先)출원에 대한 우선권을 인정받을 수 있는 제도다.

은 2017년 4월 산업통상자원부가 주관하는 ‘실시간 반도체 공정 상태 진단을 위한 웨이퍼형 공정진단 시스템 개발’ 국책과제에 선정됐다. 연구개발을 진행하고 있다.

박형수 기자 Parkhs@asiae.co.kr