SMEC, 반도체 카세트 수직 이송용 승강장치 특허

[아시아경제 김소연 기자] 스맥 가 반도체 카세트 수직 이송용 승강장치를 개발해 특허를 취득했다고 밝혔다.

SMEC는 지난 3월 클린룸 환경에서 반도체 웨이퍼, LCD 글라스, 솔라셀 등이 적재되는 카세트를 이송하는 장비가 바닥에서 많은 공간을 차지한다는 점에 착안해 천장 부착식인 '더블암식 3단 카세트 이송로봇'을 개발, 특허를 취득했다고 29일 밝혔다. 이번에 취득한 '관절 로봇형 수직 승강장치'는 기존 특허 기술을 추가 보완하는 기술이다.

기존에 개발된 더블암식 3단 카세트 로봇은 웨이퍼 등이 들어있는 카세트를 천장으로 들어올리기 위해 빔(BEAM) 형태를 적용했으나 이번 기술 개발로 링크(LINK) 형태로 변경 적용하게 됐다. 이에 따라 공간 활용도가 더욱 높아졌고 기존 특허 기술이 더욱 보완 업그레이드됐다는 설명이다.

한편 SMEC 관계자는 이날 1분기 적자소식에 주가가 약세를 보이는 것과 관련해 "지난 3월부터 수주가 살아나 전체적인 회사 성장성에는 문제가 없을 것"이라고 밝혔다.

김소연 기자 nicksy@