테스, 반도체식각장비 관련 특허취득
[아시아경제 오진희 기자] 테스 테스 close 증권정보 095610 KOSDAQ 현재가 118,100 전일대비 5,800 등락률 -4.68% 거래량 400,298 전일가 123,900 2026.05.15 15:30 기준 관련기사 테스, SK하이닉스향 265억 규모 반도체 제조장비 공급 계약 테스, 121억 규모 반도체 제조장비 공급 계약 '2025 코스닥 대상' 시상식 개최…넥스틴, 국무총리상 영예 는 반도체 제조장치 및 이를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 방법에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했다. 회사측은 이 방법이 저온공정과 고온공정을 하나의 챔버 내에서 진행할 수 있어 공정효율이 증대된다는 장점이 있다고 전했다.
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