"韓 생산 키운다" 네덜란드 ASM, 반도체 장비 확장에 1300억 투자

사업 확대 거점으로 韓 택한 ASM
경기 화성에 제조연구혁신센터 선보인다
국내서 연구, 생산하는 PEALD 시설 확대
"이번 투자는 韓서 사업 키우기 위한 포부"

네덜란드 반도체 장비사인 ASM이 첨단 반도체 수요가 늘면서 생기는 먹거리 확대를 위한 주요 거점으로 한국을 택했다. 국내에서만 연구, 생산하는 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비 사업을 위해 1억달러(약 1313억원)를 투자, 경기도 화성에 제조연구혁신센터를 선보인다.

"韓, 유일한 플라즈마원자층증착 연구 생산 기지"

ASM은 23일 오전 조선 팰리스 서울 강남에서 기자 간담회를 열었다. 24일 경기 화성에서 진행하는 제2제조연구혁신센터 기공식을 앞두고 국내 투자 배경과 향후 사업 계획을 밝혔다.

ASM은 2019년 경기 화성에 연구개발(R&D)·제조센터를 선보인 바 있다. 이번에 추가로 1억달러를 투자해 제2제조연구혁신센터를 설립한다. 한국에서만 R&D와 생산을 진행하는 PEALD 장비 사업을 확대하기 위해서다.

벤자민 로 ASM 최고경영자(CEO)가 23일 조선 팰리스 서울 강남에서 열린 기자 간담회서 발언하고 있다. / [사진제공=ASM]

새 센터는 PEALD 특화 시설로 거듭난다. 증설 목적인 만큼 기존 센터와 비교해 R&D 면적은 두 배 이상, 제조 면적은 세 배 가까이 늘어난다. 전체 면적은 3만1000제곱미터(㎥)로 2025년 완공 예정이다. 사업 공간 확대로 늘어나는 직원 수는 향후 3~5년간 200여명으로 예상한다.

벤자민 로 ASM 최고경영자(CEO)는 "PEALD 장비는 D램, 3차원(3D) 낸드플래시뿐 아니라 로직(시스템) 등 첨단 반도체에 모두 사용된다"며 "PEALD 분야에서 수년간 수요가 늘어날 것으로 전망해 투자를 결정했다"고 말했다.

PEALD 장비는 반도체 증착 공정에 쓰이는 원자층증착(ALD) 장비 일종이다. ALD 장비는 웨이퍼에 원자층을 한겹씩 쌓아 얇은 산화막(박막)을 형성하는 데 쓰인다. 다른 종류의 증착 장비보다 박막 두께를 줄일 수 있고 균일한 박막이 가능하지만 생산성이 낮은 것이 한계다.

PEALD 장비는 플라즈마(기체가 초고온 상태로 가열돼 전자, 이온 등으로 입자가 나뉜 상태) 성질을 이용해 기존 ALD 장비 단점은 줄이고 장점을 키운 것이 특징이다. ASM은 2005년 PEALD 기술을 개발한 국내 기업 지니텍을 인수한 뒤 국내에서 관련 사업에 집중하고 있다.

2030년, 반도체 시장 1조달러 규모로 성장…"中 사업 기회는 여전히 존재"

ASM은 국내에서 대규모 고객사와 협력해 기술 발전에 이바지하며 경쟁력을 쌓고 있다. 국내에 반도체 업계 리더이자 첨단 반도체 기술 개발에 힘쓰는 삼성전자와 SK하이닉스가 있다 보니 시장 중요성이 크다는 게 회사 설명이다. ASM 한국 사업 규모는 미국, 싱가포르에 이어 세 번째로 크다.

로 CEO는 "이번 투자는 단순히 시설을 확장하는 것 이상의 의미가 있다"며 "이곳에서 ASM 사업을 꾸준히 키우고자 하는 포부를 담았다"고 말했다. 이어 "한국에서 지속해서 첨단 기술을 개발해 세계적인 수준의 반도체 혁신을 이끌 수 있도록 계속해서 지원할 것”이라고 덧붙였다.

ASM 제2제조연구혁신센터 조감도. 친환경 시설로 설계돼 2025년 완공된다. / [사진=김평화 기자]

ASM은 지난해 본격화한 반도체 업황 부진이 올해까지 이어지지만 내년부턴 회복을 기대할 수 있을 것으로 봤다. 6세대 이동통신(6G)과 전기차, 생성형 인공지능(AI) 등 반도체를 필요로 하는 곳이 늘어나는 만큼 2030년이 되면 세계 반도체 시장 규모가 1조달러(약 1312조원)에 육박한다는 설명도 더했다.

미국이 지난해 10월 중국을 대상으로 첨단 반도체 생산에 쓰이는 장비 수출을 막은 것과 관련해선 여전히 중국 사업 기회가 있다는 입장이다. 로 CEO는 "규제 대상이 최첨단 수준인 반도체 장비이며 일반 제품에 들어가는 반도체 관련 장비는 아니다"며 "중국 사업은 이어갈 수 있다"고 말했다.

ASM은 네덜란드에 본사를 둔 세계 10대 반도체 장비 기업이다. ALD와 에피택시(epitaxy) 장비 사업에 특화된 곳으로 한국 포함 15개국에 거점을 두고 있다. 국내엔 1989년에 진출한 뒤 1995년 자회사인 ASMK를 설립하는 등 그간 사업 규모를 키웠다. 국내 인력은 460여명이다.

김평화 기자 peace@asiae.co.kr