ASM将韩国作为业务扩张基地
在京畿华城推出制造研究创新中心
在韩国扩充研发与生产的PEALD设施
“本次投资彰显在韩国做大业务的雄心”

随着对尖端半导体的需求增加,荷兰半导体设备企业 ASM 选择韩国作为拓展新增长机会的主要据点。公司将为仅在韩国进行研发和生产的等离子体原子层沉积(PEALD)设备业务投资1亿美元(约1313亿韩元),在京畿道华城推出制造研究创新中心。


“韩国是唯一的等离子体原子层沉积研发和生产基地”

ASM 于23日上午在首尔江南朝鲜宫殿酒店召开记者座谈会。在24日于京畿道华城举行第二制造研究创新中心动工仪式前夕,公司介绍了在韩国投资的背景及今后的业务计划。


ASM 早在2019年就在京畿道华城启用研发(R&D)与制造中心。本次将追加投资1亿美元,设立第二制造研究创新中心,旨在扩大仅在韩国进行研发与生产的 PEALD 设备业务。


ASM首席执行官(CEO)Benjamin Loh 23日在首尔江南朝鲜宫殿酒店举行的记者座谈会上发言。 ASM提供

ASM首席执行官(CEO)Benjamin Loh 23日在首尔江南朝鲜宫殿酒店举行的记者座谈会上发言。 ASM提供

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新中心将被打造成 PEALD 专门设施。由于是扩建项目,与现有中心相比,研发面积将增加一倍以上,制造面积将增加近三倍。整体面积为3.1万平方米,计划于2025年完工。随着业务空间扩大,预计未来3至5年内员工人数将增加约200人。


ASM 首席执行官(CEO)Benjamin Loh 表示:“PEALD 设备不仅用于动态随机存取存储器(DRAM)和三维(3D)闪存(NAND Flash),也应用于逻辑(系统)等各类尖端半导体”,“我们判断 PEALD 领域的需求在数年内将持续增长,因此决定进行本次投资”。


PEALD 设备属于用于半导体沉积工艺的原子层沉积(ALD)设备的一种。ALD 设备通过在晶圆上逐层堆叠原子层来形成薄氧化膜(薄膜)。与其他类型的沉积设备相比,它可以进一步减小薄膜厚度并实现均匀薄膜,但生产效率较低是其局限。


PEALD 设备利用等离子体(气体被加热至超高温后,粒子分裂为电子、离子等状态)的特性,在减少现有 ALD 设备缺点的同时强化其优点,这是其特点。ASM 在2005年收购开发出 PEALD 技术的韩国企业 Genitech 后,便一直在韩国集中开展相关业务。


2030年半导体市场将成长为1万亿美元规模……“对华业务机会仍然存在”

ASM 正在韩国与大型客户合作,为技术发展作出贡献并积累竞争力。公司表示,由于韩国拥有在半导体行业处于领先地位并致力于尖端半导体技术开发的三星电子和 SK 海力士,韩国市场的重要性非常高。ASM 在韩国的业务规模在美国和新加坡之后位居第三。


Loh CEO 表示:“此次投资不仅仅意味着扩建设施”,“也包含了我们希望在这里持续壮大 ASM 业务的抱负。”他接着表示:“我们将持续在韩国开发尖端技术,并不断提供支持,以引领达到世界水平的半导体创新。”


ASM第二制造研究创新中心鸟瞰图。按环保设施标准设计,计划于2025年完工。/ 金平和记者供图

ASM第二制造研究创新中心鸟瞰图。按环保设施标准设计,计划于2025年完工。/ 金平和记者供图

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ASM 认为,去年正式显现的半导体景气低迷将延续到今年,但从明年起有望恢复。随着第六代移动通信(6G)、电动汽车和生成式人工智能(AI)等对半导体需求的领域不断增加,到2030年,全球半导体市场规模将逼近1万亿美元(约1312万亿韩元)的说法也被一并提出。


对于美国去年10月开始禁止向中国出口用于尖端半导体生产的设备一事,ASM 的立场是对华业务机会仍然存在。Loh CEO 表示:“受限制的是用于最尖端水平半导体的设备,并非用于一般产品所用半导体的相关设备”,“对华业务仍可继续开展”。



ASM 是一家总部位于荷兰的全球十大半导体设备企业,专注于 ALD 和外延(epitaxy)设备业务,在包括韩国在内的15个国家设有据点。在韩国,ASM 于1989年进入市场,之后于1995年设立子公司 ASMK 等,持续扩大业务规模。目前在韩国的员工约有460人。


本报道由人工智能(AI)翻译技术生成。

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