SK, 웨이퍼공정 AI '파놉테스VM' 가동…"변동성 22%↓ 수율↑"

작년 12월 박막 증착 공정 투입…"다른 공정 테스트 중"
올초 이상원인 분석 'RCA'·연말 공정결과 계측 IM 출시

파놉테스VM 개발 방향을 설명하는 SK하이닉스와 가우스랩스 주역들. 가우스랩스는 SK하이닉스 출자금으로 세워진 미국 실리콘밸리 소재 산업 인공지능(AI) 전문 스타트업이다. 왼쪽부터 정현경 SK하이닉스 TL, 임동균 가우스랩스 매니저, 노도형 SK하이닉스 TL, 사이먼 가우스랩스 직원.[사진제공=SK하이닉스]

[아시아경제 문채석 기자] SK하이닉스 가 웨이퍼 가상계측 인공지능(AI) 솔루션인 '파놉테스 VM'을 지난달부터 양산 공장(팹)에 적용 중이라고 10일 밝혔다. 신제품 덕분에 공정 산포(변동성)을 21.5% 줄이고 수율(완성품 중 양품 비율)을 높였다는 전언이다.

이날 SK하이닉스는 자사가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 가우스랩스가 해당 제품을 출시했다고 밝혔다. 이미 지난달부터 양산 공장에 도입해 생산성을 높이고 있다.

파놉테스는 반도체 기판에 씌우는 얆은 피막인 박막 증착 공정에 투입된다. 박막 두께 굴절률을 줄일수록 반도체 품질이 높아진다. '전수 계측'이 어렵다는 게 문제인데 SK하이닉스는 AI 알고리즘과 인간의 지식을 합쳐 이런 문제를 해결했다.

파놉테스 VM 가상 계측 결과를 공정 제어에 써먹으면 웨이퍼 낱장까지 공정 제어가 가능해진다. 그만큼 정밀하게 공정을 제어할 수 있게 된다.

정현경 SK하이닉스 얇은필름기술 전략팀 TL은 "박막 증착 공정 중 발생하는 챔버 안의 압력, 온도, 분사 거리, 가스 주입량, 전류량 등 데이터를 모은 뒤 파놉테스 VM을 통해 웨이퍼 위에 증착된 필름 굴절률, 두께 등을 예측한다"며 "전수 검사 없이도 전수 검사한 것 같은 효과를 얻을 수 있다"고 설명했다.

가우스랩스는 산업 AI를 도입하면 품질관리, 생산 스케줄링, 장비 수리·유지, 프로세스·장비 제어, 프로세스 모니터링 등 5가지 영역에서 큰 효과를 볼 것으로 판단했다. 산업 AI는 소비자용 AI보다 상용화가 덜 된 '블루 오션'이라는 설명이다.

김영한 가우스랩스 대표는 "회사는 최고의 AI 기술을 통해 제조 현장의 난제들을 공략해 해결하고 있다"며 "파놉테스 VM을 필두로 제조업 혁신을 이끌 제품들을 지속 개발할 것"이라고 밝혔다.

SK하이닉스도 큰 만족감을 드러냈다. 김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 "가우스랩스와 협력해 한층 지능화된 스마트팩토리를 구현하기 위해 힘쓰고 있다"며 “반도체 개발·생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것이고 파놉테스 VM 도입은 시작일 뿐"이라고 전했다.

두 회사는 박막 외 다른 공정에도 산업 AI 솔루션 테스트를 지속하고 있다. 파놉테스 VM 등 제품을 양산 공장에 확대하기 위해 긴밀히 협업할 방침이다. 임동균 가우스랩스 매니저는 "파놉테스 VM 외에도 올 초 RCA(이상원인 분석 솔루션)를, IM(공정 결과계측 솔루션)을 연말에 각각 출시할 것"이라고 귀띔했다.

문채석 기자 chaeso@asiae.co.kr