去年12月投入薄膜沉积工艺…“正在测试其他工艺”
今年初用RCA分析异常原因·年底量测工艺结果后推出IM
介绍Panoptes VM开发方向的SK海力士和Gauss Labs核心成员。Gauss Labs是一家由SK海力士出资成立、位于美国硅谷的工业人工智能初创企业。从左起为：Jung Hyeongyeong SK海力士TL、Lim Donggyun Gauss Labs经理、Noh Dohyeong SK海力士TL、Simon Gauss Labs员工。SK海力士提供
View original image[亚洲经济 文彩石 记者] SK海力士10日表示，自上月起已在量产工厂（晶圆厂）导入晶圆虚拟计量人工智能（AI）解决方案“Panoptes VM”。据称，得益于这一新品，将工艺散布（波动性）降低了21.5%，并提升了良率（成品中合格品比例）。
当天，SK海力士表示，其投资的工业AI专业初创企业Gauss Labs已推出该产品，并从上月起在量产工厂导入使用，以提升生产率。
Panoptes被应用于在半导体基板上形成薄膜的薄膜沉积工艺。薄膜的厚度和折射率控制得越小，半导体品质就越高。难点在于难以进行“全数计量”，SK海力士通过将AI算法与人类知识相结合，解决了这一问题.
将Panoptes VM的虚拟计量结果用于工艺控制后，便可对晶圆的每一片进行工艺控制，从而实现更加精细的工艺调节。
SK海力士薄膜技术战略团队TL Jung Hyunkyung表示：“我们先收集在薄膜沉积工艺中产生的腔体内压力、温度、喷射距离、气体注入量、电流量等数据，再通过Panoptes VM来预测沉积在晶圆上的薄膜折射率、厚度等参数”，“无需进行全数检测，也能获得如同全数检测般的效果”。
Gauss Labs判断，引入工业AI后，在质量管理、生产排程、设备维修与维护、工艺与设备控制、工艺监控等五大领域将取得显著成效。其解释称，相较于面向消费者的AI，工业AI商业化程度较低，仍是一片“蓝海”。
Gauss Labs代表Kim Younghan表示：“公司正通过最尖端的AI技术，攻克并解决制造现场的各类难题”，“以Panoptes VM为开端，我们将持续开发引领制造业创新的产品”。
SK海力士方面也表示十分满意。SK海力士制造·技术副社长Kim Youngsik称：“我们正与Gauss Labs携手努力，构建更加智能化的智慧工厂”，“将在半导体开发与生产全流程中融入AI技术，持续巩固技术优势，而此次导入Panoptes VM只是起点”。
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两家公司还在薄膜以外的其他工艺中持续测试工业AI解决方案，并计划紧密合作，将包括Panoptes VM在内的产品进一步扩展应用至量产工厂。Gauss Labs经理Lim Donggyun透露：“除Panoptes VM外，我们还将在今年年初推出RCA（异常原因分析解决方案），并于年底推出IM（工艺结果计量解决方案）”。
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