테스, 반도체 제조장치 특허 취득

[아시아경제 김철현 기자] 테스 는 반도체 제조장치 특허를 취득했다고 17일 공시했다. 테스에 따르면 이번 특허 기술을 활용하면 고온에서의 공정 및 저온에서의 공정을 모두 수행할 수 있을 뿐 아니라, 기판의 온도를 빠르게 높일 수 있어 작업처리량을 극대화할 수 있다.

김철현 기자 kch@