테스, 반도체 제조용 챔버 특허권 취득

[아시아경제 문소정 기자] 테스 는 8일 반도체 제조용 챔버에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 "이번 발명으로 챔버에 결합된 각종 모듈의 유지 및 보수작업을 용이하게 할 수 있게 됐다"이라며 "장비 제조 시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화에 활용할 계획이다"고 말했다.

문소정 기자 moonsj@