테스, 가스 공급 어셈블리 특허권 취득

[아시아경제 김유리 기자] 테스 는 2일 태양전지 제조 장치와 관련된 가스 공급 어셈블리 특허를 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "플라즈마 형성시 샤워헤드판과 절연체가 서로 다르게 열팽창 되더라도 그 계면에서 슬립부재에 의한 미끄러짐이 발생돼 마찰이 방지된다"며 "이에 따라 절연체의 파손 및 손상을 방지할 수 있게 된다"고 밝혔다.

김유리 기자 yr61@