[컨콜]SK하이닉스 "EUV 적용 공정 확대중"

[아시아경제 문채석 기자] 1일 SK하이닉스 는 지난해 및 4분기 실적 발표 전화 회의(컨퍼런스 콜)에서 "1a나노미터(nm)에선 원가절감 효과가 가장 큰 공정에 노광장비(EUV)를 적용 중"이라며 "양산화와 수율 안정화를 통해 EUV 적용 않는 이전 심자외선(DUV) 기술 수준의 원가 절감률을 달성했다"고 설명했다.

이어 "EUV 적용 어디까지 얼마나 적용 단언할 순 어렵지만 일단 1C나노에서 EUV 적용 개수를 점진적으로 늘릴 계획을 갖고 있다"며 "공정 전환에 따른 EUV 적용에 대한 장비에 대해서도 최적화하고 높은 효율성을 유지할 계획을 갖고 있다"고 덧붙였다.

문채석 기자 chaeso@asiae.co.kr