[电话财报会议]SK海力士：“正扩大EUV应用工艺”

[亚洲经济 文彩石 记者] 1日，SK海力士在就去年及第四季度业绩举行的电话会议（电话财报说明会）上表示：“在1a纳米（nm）节点，我们正在将光刻设备（EUV，极紫外光刻）应用于成本节约效果最大的工艺”，并解释称，“通过实现量产和良率稳定，已经达到了不采用EUV、沿用此前深紫外光刻（DUV）技术时的成本节约水平”。

接着表示：“很难断言EUV最终会在多大范围、到什么程度被应用，但我们计划在1C纳米节点逐步增加EUV的应用数量”，“针对因工艺转换而增加的EUV应用相关设备，我们也将进行优化，并计划保持较高的效率”。

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