인베니아, 플라즈마 처리 안테나 장치 특허 취득

[아시아경제 박형수 기자] 디스플레이 장비업체 인베니아 가 '유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치' 특허를 취득했다고 25일 공시했다.

특허 기술을 통해 건식식각장비 상하부 사이에 브릿지 안테나를 배치, 장비 내부 절연창 및 프레임바 등 필수 구성물과 안테나 간의 간섭을 최소화하고 연결 안테나 높이를 조절 가능하게 할 수 있다.

공정공간 안에서 형성하는 플라즈마 균일도와 장비의 내구성이 향상되는 효과를 기대할 수 있다. 플라즈마 밀도의 정밀한 조절도 가능해 인베니아 가 개발 중인 차세대 대면적 OLED 및 LCD용 건식식각장비에 적용할 예정이다.

건식식각장비는 박막트랜지스터(TFT) 기판 위에 증착된 금속 및 반도체층 등 불필요한 부분을 플라즈마를 이용해 정밀하게 깎아내는 것으로 LCD에 비해 OLED의 경우 더 높은 플라즈마 밀도와 고성능이 요구된다.

인베니아 는 LG디스플레이와 중국의 디스플레이 패널 생산업체인 BOE, CSOT, HKC 등에 기판 건식식각장비를 공급하고 있다. 일본의 도쿄일렉트론(TEL)과 더불어 전세계적으로 대면적 LCD 및 OLED용 건식식각장비를 공급한 실적을 보유하고 있다.

회사 관계자는 "핵심 장치인 안테나를 자체 개발해 식각 속도가 빠르고 균일성이 뛰어난 차세대 유도결합형플라즈마(ICP: Inductive Coupled Plasma) 방식 건식식각장비 개발에 기술 경쟁력을 확보하게 됐다"고 설명했다.

인베니아 는 전세계적으로 대면적 OLED 패널 생산에 대한 투자가 증가함에 따라 차세대 장비 개발에 역량을 집중하여 건식식각장비와 OLED생산 라인설비, 진공물류 라인설비, 봉지(Incap)설비 등 대면적 OLED용 장비 시장을 선점한다는 전략이다.

박형수 기자 Parkhs@asiae.co.kr