SK머티리얼즈, 불화수소 국산화 투자

[아시아경제 오주연 기자] SK그룹 계열사 가 일본 수출 규제 품목에 포함된 고순도 불화수소(에칭가스) 국산화 개발 작업을 본격화한다.

26일 관련업계에 따르면 SK머티리얼즈는 이르면 연내 샘플 제작을 목표로 고순도 불화수소 설비투자에 나선다.

회사 측 관계자는 "SK머티리얼즈가 생산하는 삼불화질소에 불화수소를 원료로 사용해왔는데, 기술적으로 국산화가 가능할 것이라고 판단했다"면서 "고순도 불화수소 설비투자를 통해 올해 말까지 샘플을 생산하는 게 목표"라고 말했다.

샘플을 생산해 검증을 완료하면 이후 본격 양산을 통해 반도체 업체에 불화수소를 납품할 계획이다.

구체적인 투자 규모와 생산량은 아직 확정하지 않은 상태다.

불화수소는 반도체 제조 때 실리콘 웨이퍼의 이물질을 제거하는 공정에 쓰이는 핵심 소재다. 한국의 불화수소 수입량의 41.9%가 일본산(産)이다. 99.999% 이상 고순도 불화수소는 90% 이상을 일본에 의존하고 있다.

오주연 기자 moon170@asiae.co.kr