위지트, 서셉터 표면 처리방법 특허 취득

[아시아경제 박미주 기자] 위지트 가 서셉터 표면 처리방법 특허를 취득했다고 14일 공시했다.

이 특허는 LCD CVD 챔버 내부에 설치되는 서셉터에 관한 것으로, 서셉터 표면에 요철이 일정 깊이 이상 깊게 형성돼 표면처리 후 표면의 거칠기가 유지되며, 기판이 균일하게 가열돼 제품의 불량이 방지될 수 있는 서셉터의 제조방법을 제공하는 데 목적이 있다.

이 기술이 적용된 제품은 표면 조도가 높게 형성되며 공정 중 기판의 온도 균일성을 향상 할 수 있을 뿐만 아니라 서셉터와 기판의 접촉면적을 줄임으로써 양자간의 정전력을 줄여, 기판과 서셉터의 분리를 용이하게 할 수 있는 제조 방법을 제공한다.

회사는 "디스플레이 패널의 대형화로 증착을 위한 기판의 온도 균일도 및 탈부착시 불량 요소가 중요한 사항으로 부각 되고 있고, LCD 패널을 장시간 사용시 기판의 얼룩 및 탈착이 용이하지 않아 파손 및 불량 요인이 발생했다"며 "이번 기술을 적용해 기존 대비 우수한 품질을 갖는 제품 생산에 적용할 계획"이라고 전했다.

박미주 기자 beyond@asiae.co.kr