테스, 히터 가열장치 특허권 취득

[아시아경제 송화정 기자] 테스 는 기판처리장치의 히터 가열장치 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.

회사측은 "이 특허를 활용하면 히터 하단부에 가해지는 복사열의 조사각도를 조절해 히터를 부분적으로 가열함으로써 온도 보상 및 히터의 온도 균일성을 조절할 수 있다"면서 "장비 제조시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 것"이라고 설명했다.

송화정 기자 yeekin77@