테스, 웨이퍼 블레이드 특허권 취득

[아시아경제 문소정 기자] 테스 는 7일 웨이퍼 블레이드에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 관계자는 "이 기술은 웨이퍼를 그립해 이송하는 기본적 기능과 함께 웨이퍼를 기설정된 방향으로 정렬하는 얼라인 기능을 수행할 수 있어 공정효율이 증대된다는 장점이 있다"며 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화 하기 위해 활용할 계획이라고 밝혔다.

문소정 기자 moonsj@