獨 반도체 광학 기업 자이스 "韓서 480억 투자"

네덜란드 ASML에 광학 렌즈 독점 제공
2026년까지 480억 투자 예고
반도체·현미경 R&D 시설 포함
"향후 투자 계속 진행 예정"

정현석 자이스 코리아 대표가 경기 동탄에 있는 자사 이노베이션 센터에서 발표하고 있다. / 사진=김평화 기자

[아시아경제 김평화 기자] 글로벌 반도체 장비사가 잇따라 국내 투자 계획을 밝힌 데 이어 이번엔 네덜란드 ASML에 광학 렌즈를 독점 공급하는 독일 자이스가 480억원 투자를 예고했다. 이 과정에서 아시아 지역에 처음으로 반도체 연구·개발(R&D) 시설을 국내에 선보이고 고객사와 협력해 맞춤형 장비를 내놓겠다는 계획이다.

자이스 코리아는 23일 경기도 동탄에 있는 자사 이노베이션 센터에서 이같은 계획을 밝혔다. 정현석 자이스 코리아 대표는 "반도체 R&D 시설에서 웨이퍼 품질을 정밀 체크하는 기계, 장비를 고객에 맞게 개발하고자 투자한다"고 배경을 설명했다.

자이스는 한국을 포함해 세계 50여개국에서 반도체 제조 기술을 제공하는 곳이다. 의료 장비와 광학·전자 현미경, 품질 측정 솔루션 제공도 사업 영역에 속한다.

특히 반도체 업계 슈퍼을(乙)인 ASML에 광학 시스템을 공급하는 곳으로 유명하다. 반도체 노광 공정에서 ASML 장비 사용이 필수인데, 해당 장비에 광학 렌즈를 독점 제공하고 있다. 세계 반도체의 80%가 자이스를 통해 나올 정도다. 이달 방한한 프랑크 발터 슈타인마이어 독일 대통령이 삼성전자 반도체 산실인 평택 캠퍼스를 방문했을 때 동행한 곳이기도 하다.

자이스 해외 사업에서 국내 매출 비중은 네 번째로 주요하다. 지난 8월 선보인 이노베이션 센터를 포함해 최근 3년간 50억원을 투자한 데 이어 내년부터 2026년까지는 480억원을 국내에 투입하는 이유다. 자이스 코리아는 해당 투자로 고속 성장하는 반도체, 전자 현미경 분야에서 각각 R&D 시설을 선보일 계획이다. 반도체 R&D 시설은 내년 가동이 목표다.

박병준 자이스 코리아 부장이 이노베이션 센터에 있는 크로스빔(Crossbeam) 550 기기를 소개하고 있다. / 사진=김평화 기자

반도체 성분 분석하는 전자 현미경…노광 공정 돕는 포토마스크 솔루션까지

자이스 코리아는 이날 언론에 이노베이션 센터를 공개하며 자이스의 다양한 장비도 소개했다. 이노베이션 센터는 국내 고객사에 각종 장비와 솔루션 교육을 진행하면서 협업을 통한 핵심 기술 개발이 가능하도록 마련한 연구 거점이다.

이곳에선 CT 장비인 '메트로톰(Metrotom) 1500'과 전자 현미경인 '제미니셈(geminiSEM) 360', 전자 현미경에 이온 빔(FIB) 처리 기술을 더한 '크로스빔(Crossbeam) 550', 접촉식 3차원(3D) 스캐너인 아큐라(Accura) 등을 만나볼 수 있었다.

이중 제미니셈 360과 크로스빔 550은 반도체를 포함해 전자 산업 분야에서 주로 쓰이는 장비에 속했다. 자이스의 광학 현미경 기술을 전자 현미경 분야에 적용해 반도체 샘플 구조를 왜곡 없이 살피고 다양한 성분 분석을 할 수 있도록 지원하는 제품들이다. 1나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 이하 물체도 관찰할 수 있는 것이 특징이다.

접촉식 3D 스캐너인 아큐라(ACCURA) 모습 / 제공=자이스 코리아

자이스 코리아는 국내에서 반도체 마스크 솔루션(SMS) 사업에도 주력하고 있다. 노광 장비로 미세한 전자 회로를 반도체 웨이퍼에 그려 넣을 때 쓰이는 포토마스크 품질을 높이는 각종 솔루션을 제공하고 있다.

이준석 자이스 코리아 반도체사업부 상무는 "결함 수리와 보정, 검사, 측정 등 모든 포토마스크 작업에 쓰일 다양한 솔루션을 지원하고 있다"며 "심자외선(DUV)과 극자외선(EUV)뿐 아니라 (차세대 EUV 장비인) 하이 NA에도 제공할 수 있다"고 강조했다.

자이스 코리아는 앞으로 반도체를 포함해 배터리, 전기차 등 다양한 사업 영역으로 국내 매출을 늘리겠다는 목표를 내놨다. 정 대표는 "한국 시장에서 여러 사업이 성공하고 있는 만큼 앞으로 인더스트리 쪽 투자를 계속해서 진행하겠다"고 말했다.

김평화 기자 peace@asiae.co.kr