테스, 기판처리장치 관련 특허권 취득

[아시아경제 천우진 기자] 테스 는 기판처리장치에 관련된 특허권을 취득했다고 11일 공시했다.

테스 관계자는 "배플(baffle)의 설치높이와 경사방향 및 경사진 정도를 조절할 수 있어 기판에 박막이 균일하게 증착될 수 있는 가스흐름을 도출할 수 있는 장점이 있다"며 "장비 제조시 특허기술 적용을 통해 기술 및 원가경쟁력을 강화할 수 있을 것"이라고 설명했다.

천우진 기자 endorphin00@