참엔지니어링, 기판처리장치 관련 특허권 취득

[아시아경제 유제훈 기자] 참엔지니어링은 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.
특허 활용계획에 대해 참엔지니어링 측은 "본 특허기술을 활용해 기판의 수율 증가를 기대하고 있다"고 설명했다.

유제훈 기자 kalamal@asiae.co.kr