테스, 기판 처리 장치 특허 취득

[아시아경제 정준영 기자] 테스 는 기판 처리 장치에 관한 특허를 취득했다고 11일 공시했다.
회사측은 해당 특허가 공정 가스의 효율적 배기를 통해 공정효율을 향상시키고 공정소요 시간을 줄여 제품경쟁력이 강회될 것으로 기대했다.

정준영 기자 foxfury@