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테스, 슬릿 개폐 장치 특허권 취득

배경환 기자

입력 2011.09.30 11:16

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[아시아경제 배경환 기자] 테스 테스 close 증권정보 095610 KOSDAQ 현재가 89,600 전일대비 3,700 등락률 -3.97% 거래량 462,457 전일가 93,300 2026.04.23 15:30 기준 관련기사 테스, SK하이닉스향 265억 규모 반도체 제조장비 공급 계약 테스, 121억 규모 반도체 제조장비 공급 계약 '2025 코스닥 대상' 시상식 개최…넥스틴, 국무총리상 영예 는 공정 챔버의 슬릿 개폐 장치에 특허권을 취득했다고 30일 공시했다. 공정 챔버의 슬릿 개폐 장치란 공정 챔버 내부 온도를 전체적으로 균일하게 유지해 증착 공정 또는 식각 공정을 수행할 수 있도록 하는 시스템이다.

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배경환 기자 khbae@

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