하나실리콘, 국내최초 480mm 실리콘잉곳 개발

[아시아경제 이승종 기자] 반도체 후공정 전문기업 하나마이크론 의 자회사인 하나실리콘(대표 최창호)이 국내 최초로 480mm 단결정 실리콘 잉곳을 개발했다고 26일 밝혔다.

이번 개발은 하나실리콘이 지난 2008년 참여한 국책사업 수행에 따른 결과물이다.

하나실리콘은 지난 2008년부터 지식경제부가 주관하는 '480mm 단결정 실리콘 부품소재 기술개발' 국책과제를 수행해 왔다. 단결정 실리콘 잉곳은 반도체용 웨이퍼의 원재료다. 지금까지는 2009년 하나실리콘이 개발한 420mm가 국내 최대 크기였다.

이번 개발 성공으로 향후 ‘450mm 웨이퍼’ 시대를 대비할 기반을 확보하게 됐다는 게 회사 측 설명이다. 현재 반도체 웨이퍼는 300mm가 대부분이다. 그러나 2012년 이후부터는 450mm 웨이퍼로 전환될 것이라는 게 업계 분석이다. 실제로 삼성전자, 인텔 등은 2012년까지 450mm로 규격을 전환하는 데 공동협력키로 지난 2008년 합의한 바 있다.

최 대표는 “우리가 480mm 단결정 실리콘 잉곳 개발에 성공한 요인은 잉곳 성장설비의 핵심부품인 폴리실리콘 용융로를 직접 개발했기 때문"이라며 "향후 전세계 유수 반도체 장비 업체와 공동으로 관련 부품 및 소재 개발을 시도해 시장선점에 나설 것”이라고 말했다.

이승종 기자 hanarum@