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주성엔지니어링, 반도체 사업 관련 특허 3개 취득

최종수정 2010.11.08 12:44 기사입력 2010.11.08 12:44

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[아시아경제 김철현 기자] 주성엔지니어링 은 반도체 사업과 관련해 '산화알루미늄막의 원자층증착방법', '반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록', '리프트핀 지지대' 등 3개의 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.

김철현 기자 kch@

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