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참엔지니어링, 기판용 지지 유닛 및 기판처리 장치 특허

최종수정 2013.06.11 17:19 기사입력 2013.06.11 17:19

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[아시아경제 이광호 기자] 참엔지니어링 은 기판용 지지 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다.

이광호 기자 kwang@

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