탑엔지니어링, 반도체기판 처리장치 특허 취득

[아시아경제 심나영 기자] 탑엔지니어링 은 7일 척 구조체 및 이를 이용한 반도체 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 "본 발명은 종래의 리프트 핀 대신 개선된 가이드 링을 이용해 반도체 기판을 척에 로딩하도록 하는 척 구조체 및 이를 이용한 반도체 기판 처리 장치에 대한 것"이라며 "증착장비의 경쟁력을 강화할 계획"이라고 밝혔다.

심나영 기자 sny@