참엔지니어링, 반도체 생산장비 특허권 취득
[아시아경제 오현길 기자] 참엔지니어링 참엔지니어링 close 증권정보 009310 KOSPI 현재가 1,065 전일대비 0 등락률 0.00% 거래량 0 전일가 1,065 2026.04.23 15:30 기준 관련기사 참엔지니어링, 변인재 대표이사 신규 선임 참엔지니어링, 최대주주 변경 수반 주식 매매 계약 …535억 규모 참엔지니어링, LG디스플레이와 118억 규모 장비 공급계약 은 플라즈마를 이용한 기판처리 공정에 있어 이온 에너지 및 플라즈마 밀도가 높은 공진 플라즈마를 이용하는 기판 처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.
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회사측은 이 특허를 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화하겠다고 덧붙였다.
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