에스엔유, 박막 가공장치 관한 특허 취득

[아시아경제 이상미 기자] 에스엔유 프리시젼은 박막 가공장치에 관한 특허를 취득했다고 23일 공시했다. 이 특허는 태양전지를 제작하는 과정에서 기판의 가장자리 부위의 변형 및 손상 없이 공정상에 발생하거나 남아 있는 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 가공장치에 관한 것으로 향후 태양광 제조장비에 활용될 계획이다.

이상미 기자 ysm1250@