KBSI, '열 영상 현미경' 기술 이전…"사업화 지원"

국내 연구팀이 개발한 '고분해능 열 영상 현미경 기술(열 영상 현미경 기술)'이 사업화 단계에 접어들었다. 열 영상 현미경은 반도체 발열 현상을 정밀 분석할 수 있는 기능을 가져 반도체 업계의 발열 및 수율 저하 문제를 해소하는 데 기여할 것으로 기대된다.

한국기초과학지원연구원(KBSI)은 에이치비솔루션㈜과 열 영상 현미경 기술에 관한 기술이전 협약을 체결했다고 24일 밝혔다.

이재원 에이치비솔루션 대표, 장기수 KBSI 박사, 양성광 KBSI 원장. 한국기초과학지원연구원

기술이전 한 열 영상 현미경 기술은 장기수 KBSI 박사 연구팀이 개발한 장비다. 전자소자의 미세 발열을 비접촉 방식으로 측정·영상화하는 기능이 핵심이다.

고집적·고성능 소자에서 발생하는 발열과 수율 저하 문제는 반도체 산업의 경쟁력을 좌우할 핵심 과제다.

하지만 기존 적외선 현미경 기반의 불량 분석 장비는 공간분해능의 한계로 미세 결함 및 불량을 정밀 분석하는 데 제약이 따랐다.

이와 달리 연구팀이 개발한 열 영상 현미경 기술은 정밀도로 불량 위치를 특정할 수 있어 높은 정확도로 차세대 고집적 반도체의 결함 분석이 가능하다. 무엇보다 국내 대기업과의 협력 연구로 기술의 실용화 가능성을 검증·입증한 상태다. 기술이전을 통해 본격적인 사업화가 가능한 수준인 것이다.

열 영상 현미경 기술을 이전받게 된 에이치비솔루션은 국내 MI 및 잉크젯, 도포 기술 분야에서 26년 이상의 업력을 쌓은 강소기업이다. 특히 디스플레이·반도체 분야에서 높은 기술력을 인정받고 있어 열 영상 현미경 기술을 사업화하는 데 적합한 기업으로 KBSI는 판단했다.

에이치비솔루션 관계자는 "KBSI가 기술이전 한 열 영상 현미경 기술을 상용화해 반도체를 포함한 다양한 산업 분야에서 폭넓게 활용될 수 있도록 하겠다"고 말했다.

양성광 KBSI 원장은 "발열 제어와 수율 향상은 반도체 산업의 핵심 과제며, KBSI가 기술이전 한 열 영상 현미경 기술은 발열을 정밀하게 분석할 수 있는 세계 최고 수준의 성능을 갖췄다"며 "에이치비솔수션에 기술을 이전한 것을 계기로 해당 기술이 국내 반도체 산업계의 경쟁력 강화하는 데 기여할 수 있길 기대한다"고 말했다.

대전=정일웅 기자 jiw3061@asiae.co.kr