구형 DUV 노광장비 수출도 제한 전망

미국과 네덜란드가 대(對) 중국 반도체 장비 수출통제와 관련해 추가 조치를 발표할 것으로 전해졌다.


[이미지출처=로이터연합뉴스]

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29일(현지시간) 주요 외신에 따르면 네덜란드 정부는 30일 자국 반도체 장비업체인 ASML이 생산하는 심자외선(DUV) 노광장비 중국 수출 승인 요건과 관련해 새로운 규정을 발표할 예정이다.

새로운 규제 시행 시점은 9월이 될 가능성이 높은 것으로 전해졌다.


네덜란드 정부는 2019년부터 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 대중 수출을 금지했다. 올해 3월에는 EUV 이전 세대의 기술이 적용된 구형 DUV 노광장비에 대한 수출 규제도 예고했다.

ASML은 당시 네덜란드 정부 규제로 DUV 노광장비 중 신형 제품들이 영향을 받을 것으로 전망했다. 하지만 DUV 노광장비 중 구형 제품의 중국 수출 역시 제한을 받을 것으로 보인다고 외신은 보도했다.


미국 정부는 지난해 10월 대중 첨단 반도체·장비 수출통제를 발표한 데 이어, 6개 중국 시설에 대한 추가 규제를 준비하고 있다. 이 시설에 대한 반도체 장비 수출시 사전 승인을 받도록 하는 규정이 될 것으로 전해졌다.

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소식통에 따르면 새로운 규정이 시행되면 예전보다 낮은 비율의 미국산 부품이 들어간 다른 외국 기업 제품까지 미국의 수출 승인을 받아야 할 전망이다. DUV 노광장비 가운데 하위제품들도 영향을 받게 된다고 소식통은 전했다. 새 규정은 다음달 말 발표될 예정이다.


권해영 기자 roguehy@asiae.co.kr

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