테스, 플라즈마 특허권 취득

[아시아경제 심나영 기자] 테스 는 23일 플라즈마 건과 이를 포함하는 플라즈마 처리장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 이 특허는 반도체 제조시 전극의 수명을 늘리고 생산성을 향상할 수 있다. 또한 파손된 전극의 부분 교체가 가능해 교체 비용도 줄일수 있다.

심나영 기자 sny@