테스, 기판처리장치 관련 특허권 취득

[아시아경제 이상미 기자] 테스 는 가스유압조절이 용이한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다. 테스는 "이 특허에 의하면 기판처리장치의 하드웨어를 변경하지 않고도 균등한 맵 데이터를 얻을 수 있고, 하드웨어의 변경과 교체에 소요되는 비용과 시간을 절감할 수 있는 장점이 있다"고 설명했다.

이상미 기자 ysm1250@