테스, RF접지 어셈블리 특허권 취득

[아시아경제 이상미 기자] 테스 는 기판처리장치의 RF접지 어셈블리 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.

회사 측은 "이 특허를 활용하면 RF저항에 의한 열 발생을 방지할 수 있으므로 RF터미널의 손상을 안정적으로 방지할 수 있다"며 "장비 제조 시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 설명했다.

이상미 기자 ysm1250@