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탑엔지니어링, OLED·LCD공정 기술 특허권 취득

최종수정 2012.02.09 11:58 기사입력 2012.02.09 11:58

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[아시아경제 김영식 기자]코스닥 상장기업 탑엔지니어링 은 9일 OLED 및 LCD 공정장비용 '플라즈마 데미지 프리 스퍼터 건 및 이를 구비한 스퍼터 장치와 이를 이용한 플라즈마 처리장치 및 성막 방법'에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.


김영식 기자 grad@

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