테스, 가스분사장치 특허권 취득

[아시아경제 이민아 기자] 테스 는 가스분사장치 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

회사는 "이번 특허는 박막의 증착균일도를 보장하고, 가스분사플레이트와 기판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다는 장점이 있다"고 설명했다.

이민아 기자 malee@