테스, 산화막 증착 방법 관련 특허권 취득

[아시아경제 천우진 기자] 테스 는 저온 화학기상증착에 의한 산화막 증착 방법에 대한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.

테스 관계자는 "장비 개발 및 제조시 특허기술 적용을 통해 기술 및 원가경쟁력을 강화할 수 있을 것"이라고 설명했다.

천우진 기자 endorphin00@