국내 첫 12인치 반도체 테스트베드 구축…‘소부장’ 자립화 힘 싣는다

과기정통부, 나노종합기술원에 구축해 17일부터 서비스 개시

과학기술정보통신부가 나노종합기술원에 구축한 12인치 반도체 테스트베드. 사진제공=나노종합기술원.

[아시아경제 김봉수 기자] 국내에서 처음으로 12인치 반도체 테스트베드가 구축돼 산업체와 연구소, 대학에게 제공된다.

16일 과학기술정보통신부는 나노종합기술원(종기원)에 12인치 반도체 테스트베드 구축을 완료해 17일부터 서비스를 개시한다고 밝혔다.

국내 반도체 소재, 부품, 장비를 생산해 온 기업들은 그동안 대기업 생산 환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어 납품에 필요한 수준의 평가결과를 획득하는데 애로를 겪어왔다. 대부분의 중소기업들은 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 종기원에 있는 기존의 8인치 장비를 활용한 기초평가 수준에서 만족할 수밖에 없는 상황이었다.

그러나 삼성전자, SK하이닉스 등 반도체 대기업에서 요구하는 12인치 웨이퍼상 에서의 소재 균일도, 결함 등 완성도 평가가 국내에서 불가능했다.

이를 해결하기 위해 과기정통부는 2019년 8월 종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고 청정실과 핵심장비 구축, 장비 안정화 작업을 마치고 서비스를 개시하게 됐다. 국비 총 450억원을 투자해 핵심 장비 10대를 구축하고 공정 기술 개발을 완료했다.

이에 따라 국내 반도체 소부장 기업들은 종기원의 12인치 테스트베드를 활용하여 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있게 됐다. 기술자립화에 소요되는 시간과 비용을 획기적으로 절감할 수 있게 된 것이다.

12인치 테스트베드는 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심 소재(감광제 등)와 장비 개발을 집중 지원할 예정이다. 과기정통부는 또 향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비 구축 및 공정 기술 개발을 추진할 계획이다.

김봉수 과기정통부 기초원천연구정책관은 “앞으로 반도체 분야의 발전을 위해 기초·원천 연구지원과 병행해 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자확대, 기능고도화 등의 노력을 지속적으로 추진하겠다”고 말했다.

김봉수 기자 bskim@asiae.co.kr