반도체·디스플레이 제조 공정 무인·자동화에 필요한 요소 기술 개발
서울대 공대(학장 차국헌)는 23일 에너지시스템공학부 노현준 연구원(지도교수 김곤호)이 제64회 미국진공학회 국제 심포지엄과 전시회 2017(AVS 64th International Symposium & Exhibition 2017)에서 'J.Coburn & H.Winters' 학생논문상 수상했다고 발표했다.
이번 논문을 통해 노 연구원은 3D-VNAND를 제조하기 위한 실리콘 다층 박막 증착 공정에서 기존 가상계측기술에 비해 계측 정확도를 2배 이상 향상시킬 수 있음을 입증했다. 또 플라즈마를 이용한 공정을 진행할 때 장비 벽면의 오염 상태를 실시간으로 모니터링하는 방법을 제시해 플라즈마 공정진단이라는 새로운 연구 분야를 개척했다.
한편 미국진공학회 국제 심포지엄과 전시회는 저온 플라즈마의 산업적 응용 분야에서 세계 최고 수준의 학회로 인정받고 있다.
정종오 기자 ikokid@asiae.co.kr
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