테스, 플라즈마 처리장치 특허 취득

[아시아경제 박나영 기자] 테스 는 '플라즈마 처리장치' 관련 특허를 취득했다고 12일 공시했다. 회사 측은 "반도체 장비에 적용되는 기술로, 각 영역에서 플라즈마의 밀도를 다르게 유지 및 조절 가능하게 하는 것"이라고 설명했다.

박나영 기자 bohena@asiae.co.kr