이는 주성이 차세대 반도체 디바이스 공정 대응을 위해 세계 최초로 개발한 SDP System의 첫 양산라인 수주 사례이다.
세계 최초 신개념 플라즈마 기술이 적용된 SDP System은 ALD 고유전체막, 절연체막, 전도체막 증착 뿐만 아니라 Nitridation, Oxidation, 도핑 및 막(Film)간 트리트먼트 기능 등이 있는 신규 제품이다.
이 장비는 플라즈마와 고온에 의한 반도체 디바이스 특성 손상 문제를 극복하고 저온에서도 최고의 막질을 형성하는 점이 큰 특징으로 꼽힌다. 이를 통해 점차 미세화되는 차세대 반도체 소자의 개발과 양산, 장비 유지 면에서도 획기적인 효과를 얻을 수 있게 됐다.
주성 관계자는 “이번 공급 장비는 기존 증착 기술의 패러다임을 바꿀 수 있는 신개념 기술로 그 동안 업계의 주목을 받아 왔다”며 “한층 진보된 개념의 반도체 장비 공급 및 차세대 공정에 적용으로 고객의 큰 호응을 얻고 있는 만큼 향후 산업경기 호조와 맞물려 점차 매출 확대로 이어질 것으로 기대한다”고 말했다.
김소연 기자 nicksy@asiae.co.kr
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