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테스, '반도체 소자의 갭필 방법' 특허

최종수정 2014.01.14 11:32 기사입력 2014.01.14 11:32

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[아시아경제 김철현 기자] 테스 는 '반도체 소자의 갭필 방법'에 대한 특허를 취득했다고 14일 공시했다. 이 특허 기술은 오버행 현상에 의해 갭 패턴에 보이드(void)가 생성되는 것을 감소시킬 수 있다.


김철현 기자 kch@asiae.co.kr

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