테스, '반도체 소자의 갭필 방법' 특허

[아시아경제 김철현 기자] 테스 는 '반도체 소자의 갭필 방법'에 대한 특허를 취득했다고 14일 공시했다. 이 특허 기술은 오버행 현상에 의해 갭 패턴에 보이드(void)가 생성되는 것을 감소시킬 수 있다.

김철현 기자 kch@asiae.co.kr