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원익IPS, 박막증착장치 특허 취득

최종수정 2013.11.26 13:42 기사입력 2013.11.26 13:42

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[아시아경제 김유리 기자] 원익홀딩스 는 26일 박막증착장치 특허권을 취득했다고 공시했다.

이번 특허는 반응공간 내에 다수의 기판을 처리하는 장치에서 서로 다른 가스가 혼합되는 것을 방지하는 복수의 배기구조를 갖는 박막증착장치에 관한 것이다. 회사 측은 "원익IPS 반도체 장비의 경쟁력 강화를 위해 사용할 것"이라고 말했다.


김유리 기자 yr61@asiae.co.kr

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